電容式、擴(kuò)散硅、單晶硅是壓力變送器傳感器的種類
壓力變送器根據(jù)傳感器種類,可分為電容式壓力變送器、擴(kuò)散硅壓力變送器、單晶硅壓力變送器。15305232668
電容式壓力變送器的原理
當(dāng)壓力直接作用在測(cè)量膜片的表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,測(cè)量膜片上的高精度電路將這個(gè)微小的形變變換成為與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),然后采用專用芯片將這個(gè)電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的4-20mA電流信號(hào)或者1-5V電壓信號(hào)。
擴(kuò)散硅壓力變送器的原理
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(一般是316L材質(zhì)膜片),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用惠斯通電路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
單晶硅壓力變送器的原理
壓阻式壓力傳感器利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。
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